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Ätzen
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Mit den innovativen und präzisen Plasma-Stromversorgungssystemen steht Advanced Energy an der Spitze der Technologie für Ätzanwendungen. Unsere Lösungen nutzen modernste Innovationen, um während des gesamten Ätzprozesses eine exakte Leistungsabgabe und -kontrolle zu gewährleisten.
Umfassendes Portfolio an Lösungen für eine verbesserte Prozesskontrolle
Die Plasma-Stromversorgungen von AE sind auf die besonderen Anforderungen von Ätzanwendungen zugeschnitten. Unser Portfolio umfasst HF-, DC- und gepulste DC-Produkte, HF-Anpassungsnetzwerke, Remote Plasma Sources und eine fortschrittliche Datenerfassungs-, Visualisierungs- und Analyseplattform. Diese Lösungen basieren auf modernster Technologie und gewährleisten eine exakte, wiederholbare Leistungsabgabe für eine hervorragende Prozesspräzision und -ausbeute.
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Elektronenstrahl-Inspektion
Advanced Energy liefert stabile, zuverlässige Energie für Elektronenstrahlprüfsysteme. Diese exakte Steuerung ermöglicht eine hochpräzise Fehlererkennung und stellt sicher, dass Speicher- und Logikbausteine die strengen Spezifikationen erfüllen.
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