Elektronenstrahl-Inspektion
Präzise Leistungskontrolle für genaue Elektronenstrahlinspektion
Bei der Herstellung von Logik- und Speicherbausteinen, die eine hohe Empfindlichkeit erfordern, bieten Elektronenstrahlsysteme im Vergleich zu anderen Techniken eine höhere Auflösung. AE-Lösungen bieten eine präzise, zuverlässige Leistung, um die Erkennung von Defekten zu gewährleisten, die anderen Systemen möglicherweise entgehen.