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RF-Plasma-Generatoren

Von verschiedenen Bauformen bis hin zur vollständigen digitalen Steuerung und hochdynamischen Prozesskontrolle - unsere RF-Generatoren sorgen stets für Prozessinnovationen. Wählen Sie aus einer breiten Portfolio von Modellen und nutzen Sie die einzigartigen Funktionen zur Konfiguration und Steuerung, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen.

RF-Plasma-Generatoren

eVerest RF Generator

Full RF delivery system, multiple options for matching solutions, and intelligent synchronization
Speed and control within programmable multi-level pulse profiles
High-speed RF output response and pulse-state rise/fall times

Paramount Plus RF Generator

Precise RF and pulse control
Fast response to plasma changes
Built-in diagnostic tools

Paramount RF Generator

Full digital control
High power output
Enables high plasma density and ion energy

Apex RF Generator

High power density
Compact installation
High-speed arc management

Ausgewählte Produkte

Highlight

eVerest RF Generator

Angstrom Era Precision Power

Datenblatt

Ausgewählte Ressourcen

Technische Dokumentation

Titel	Typ
Apex and Paramount RF Generator Comparison (357 KB)	Anwendungshinweis
Paramount Implanter Tools (324 KB)	Anwendungshinweis
Precise Power Control in 3D Device Architectures (647 KB)	Anwendungshinweis
eVerest and NavX RF Delivery System (5 MB)	Broschüre
eVerest Brochure (12 MB)	Broschüre
eVerest™ RF電力供給システム (18 MB)	Broschüre
PowerInsight by Advanced Energy (6 MB)	Broschüre
RF Calibration Solutions (530 KB)	Broschüre
Apex RF Data Sheet (504 KB)	Datenblatt
Navigator II Digital Matching Networks Brochure (10 MB)	Datenblatt
Paramount Plus Data Sheet (5 MB)	Datenblatt
Paramount Series Data Sheet (4 MB)	Datenblatt
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB)	Weißbuch

Technische Videos

Introducing the eVerest RF Generator and eVoS ME Bias Solution

Juli 12, 2023

24/5 Support verfügbar

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Wir sind bestrebt, unseren Kunden einen hervorragenden Kundendienst und technischen Support zu bieten. Mit Live-Chat und Telefon-Support können Sie jederzeit einen qualifizierten Techniker um Hilfe bitten.

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eVerest RF Generator

Paramount Plus RF Generator

Paramount RF Generator

Apex RF Generator

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eVerest Brochure

Forward and Reflected Power: What Does It Mean?

Three Key Cabling Decisions to Optimize RF System Performance

Technische Dokumentation

Verwandte Anwendungen

Halbleiterindustrie

Beschichtung

Ätzen

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