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RF-Plasma-Generatoren

Von verschiedenen Bauformen bis hin zur vollständigen digitalen Steuerung und hochdynamischen Prozesskontrolle - unsere RF-Generatoren sorgen stets für Prozessinnovationen. Wählen Sie aus einer breiten Portfolio von Modellen und nutzen Sie die einzigartigen Funktionen zur Konfiguration und Steuerung, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen.

RF-Plasma-Generatoren

eVerest® RF Generator

  • Full RF delivery system, multiple options for matching solutions, and intelligent synchronization
  • Speed and control within programmable multi-level pulse profiles
  • High-speed RF output response and pulse-state rise/fall times

Paramount Plus RF Generator

  • Precise RF and pulse control
  • Fast response to plasma changes
  • Built-in diagnostic tools

Paramount RF Generator

  • Full digital control
  • High power output
  • Enables high plasma density and ion energy

Apex RF Generator

  • High power density
  • Compact installation
  • High-speed arc management

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eVerest® RF Generator

Angstrom Era Precision Power

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Forward and Reflected Power: What Does It Mean?

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Three Key Cabling Decisions to Optimize RF System Performance

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