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Luxtron M-1100 Fiber Optic Temperature Converter

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Fiber optic temperature sensing for semiconductor in etch and deposition applications

Kontakt Vertrieb Datenblatt

The Advanced Energy's Luxtron^® M-1100 is the latest FluorOptic^® thermometry (FOT) converter platform, featuring an advanced light source and improved ultralow noise electronics. Two new proprietary phosphor formulations VioLux^TMand RubiLux^TMhave been developed to deliver 0.5°C accuracy, repeatability, and stability over an extended range -200 to 450°C.

Eigenschaften Spezifikationen Technische Dokumentation Software Support

Eigenschaften

Wide supported temperature range
Low noise level with fast response rate
5 channels in a single converter
Flexible communication outputs
EtherCAT Interface (optional)
Analog output

Vorteile

Non-contact measurement to minimize the thermal offset
Easy to install into OEM equipment
Achieve high accuracy and a extreme temperature control for different etching and wafer fab processes
Utilize AE's experienced application engineering support to develop custom probes for OEMs

Spezifikationen

Betriebstemperaturbereich (°C):	5 to 60
Anzahl von Kanälen:	Up to 5
Genauigkeit:	± 0.5 °C
Rauschen (°C):	≤ 0.05 °C
Messbereich:	-200 to 450
Kommunikationsschnittstelle:	ECAT, 4 to 20 mA or 0 to 10 V

Technische Dokumentation

Titel	Typ
Etching and Wafer Fab Equipment Application Note (131 KB)	Anwendungshinweis
A Brief History of Phosphor Thermometry (1 MB)	Artikel
Luxtron M-1100 Data Sheet (290 KB)	Datenblatt
Luxtron® Fiber Optic Thermometry Probes & Accessories (310 KB)	Datenblatt

Software

TrueTemp+

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Vergleichen Sie

Model	Luxtron M-1100	Luxtron M900	WaveCapture FBG Analyzer Series
Anzahl von Kanälen	Up to 5	4 to 64	1
Genauigkeit	± 0.5 °C	±0.5 to ± 0.1 °C	+/-5 pm
Rauschen (°C)	≤ 0.05 °C	< 0.1 °C	1 pm
Kommunikationsschnittstelle	ECAT, 4 to 20 mA or 0 to 10 V	RS232, RS485	USB 2.0, RS232, Ethernet IEEE 802.3

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