エッチング

プロセス制御強化のための包括的なソリューションポートフォリオ

AEのプラズマ電源は、各エッチング工程のユニークなニーズに合わせてカスタマイズされます。当社の製品ラインナップには、RF、DCおよびパルスDC製品、インピーダンス整合ネットワーク、リモートプラズマ電源、洗練されたデータ収集・可視化・分析プラットフォームが含まれます。最先端技術で構築されたこれらのソリューションは、正確で再現性のある電力供給を保証し、優れたプロセス精度と歩留まりを実現します。
関連項目：

• 3Dデバイスアーキテクチャにおける高精度電力制御
• 順方向電力と反射電力とは？