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半導体
アドバンスドエナジーは、クリティカルエッチング、成膜、チャンバークリーニング、検査、注入、焼きなましを含む半導体製造のためのプラズマパワーデリバリー、温度測定、温度制御、ウエハ管理技術で市場をリードしています。戦略的パートナーシップ、絶え間ない技術革新、迅速な設計により、お客様固有のプロセスの要件に対応するソリューションを提供します。
半導体への応用
成膜
AEは、プラズマパワーデリバリー、温度測定、温度制御、ウェハ制御ソリューションなど、半導体成膜のための総合的なポートフォリオを提供しています。
エッチング
アドバンスドエナジーの高精度プラズマパワーデリバリーシステムは、高い再現性と歩留まりを実現するために、エッチングプロセスを厳密に制御します。
電子ビーム検査
アドバンスドエナジーは、電子ビーム検査システムに安定した信頼性の高い電力を供給します。この厳密な制御により、高精度の欠陥識別が可能になり、メモリやロジックデバイスが厳しい仕様に適合することが保証されます。
注入
AEパワー製品は、イオンエネルギーを正確に制御するために、効率と出力密度の最適化に重点を置いて設計されています。
RF電源校正
RF電源の現場校正にアドバンスドエナジーの電力計を使用することで、半導体処理装置の精度と信頼性を維持することができます。
ストリップ
プラズマエッチングにおける電力の精密制御は、ウエハ表面を完璧にストリップし、潜在的な欠陥のない状態にするために極めて重要です。
