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エッチング
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洗練された高精度プラズマ電力供給システムにより、アドバンスドエナジーはエッチング工程の最先端技術に位置しています。当社のソリューションは最先端の技術革新を利用し、エッチング工程全体を通して正確な電力供給と制御を提供します。
プロセス制御強化のための包括的なソリューションポートフォリオ
AEのプラズマ電源は、各エッチング工程のユニークなニーズに合わせてカスタマイズされます。当社の製品ラインナップには、RF、DCおよびパルスDC製品、インピーダンス整合ネットワーク、リモートプラズマ電源、洗練されたデータ収集・可視化・分析プラットフォームが含まれます。最先端技術で構築されたこれらのソリューションは、正確で再現性のある電力供給を保証し、優れたプロセス精度と歩留まりを実現します。
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