RF電源校正

RF電源の校正は、ほとんどの機器と同様に、精度を維持し、精度を共通の経路（トレーサビリティー）に適合させ、定期的に適切な動作を保証するために必要です。アドバンスドエナジーは、装置がある現場でRF電源を正確に校正するためのRF電力計を提供しています。当社の5500シリーズRF電力計はディスプレイを内蔵しており、半導体産業で一般的に使用される複数の周波数ポイントで校正できるため、必要なセンサーと機器の数を最小限に抑えることができます。