静電チャック

何十年もの間、アドバンスドエナジーのTrek静電チャック電源は半導体産業に不可欠な存在でした。Trek電源を採用することにより、スループットを向上させ、稼働時間を増加させ、ウエハが貼り付いたり飛び出したりする問題を事実上排除し、またバックサイドガスを減少させることができます。