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リモートプラズマソース

アドバンスドエナジーのリモートプラズマソースの高い機能性と卓越した信頼性で、お客様の製造工程および排ガス処理工程を強化します。化学的性質を調整し、動作範囲を広げ、処理速度を向上させます。スリム化された設計で提供される当社の洗練された選択肢により、より高いレベルの効率と生産性を達成することができます。

リモートプラズマソース

MAXstream Remote Plasma Source

  • Multiple models: MAXstream 300 for low flow applications and MAXstream 1200 for higher flow applications
  • Highly reliable RPS maximizes tool uptime

Rapid Ox Remote Plasma Source

  • Quartz liner makes it ideal for photoresist ashing or carbon chamber clean processes
  • Variable frequency matching provides a range of plasma impedance operation, controlled by varying gas chemistry, pressure, and power set point
  • Improved thermal management helps ensure long chamber lifetime

Xstream Remote Plasma Source

  • Highly reliable RPS maximizes tool uptime
  • Effective reactive species transportation to process chamber for improved performance
  • Transformer coupled plasma (TCP) source with integrated Active Match Network (AMN)

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特集

MAXstream Remote Plasma Source

Reliable Performance for Chamber Clean Applications

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