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RFプラズマ ジェネレーター

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様々な取付具やサイズから、フルデジタル制御やプラズマの動的応答まで、当社のRFジェネレーターはプロセス革新を促進します。幅広い機種から選択し、特定の用途の要件を満たす構成と制御のためのユニークな機能を実現することができます。

RFプラズマ ジェネレーター

eVerest® RF Generator

  • Full RF delivery system, multiple options for matching solutions, and intelligent synchronization
  • Speed and control within programmable multi-level pulse profiles
  • High-speed RF output response and pulse-state rise/fall times

Paramount Plus RF Generator

  • Precise RF and pulse control
  • Fast response to plasma changes
  • Built-in diagnostic tools

Paramount RF Generator

  • Full digital control
  • High power output
  • Enables high plasma density and ion energy

Apex RF Generator

  • High power density
  • Compact installation
  • High-speed arc management

注目製品

特集

eVerest® RF Generator

Angstrom Era Precision Power

データシート

注目資料

eVerest Brochure

eVerest’s configurable multi-level pulsing enables instantaneous or user-defined transition timing. Download eVerest brochure for details on benefits, features, specifications and more.

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Forward and Reflected Power: What Does It Mean?

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Three Key Cabling Decisions to Optimize RF System Performance

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技術文書

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半導体

AEは、次世代の工程革新のために、洗練された高速制御による高精度のプラズマ電力供給を提供します。
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AEは、プラズマパワーデリバリー、温度測定、温度制御、ウェハ制御ソリューションなど、半導体成膜のための総合的なポートフォリオを提供しています。
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アドバンスドエナジーの高精度プラズマパワーデリバリーシステムは、高い再現性と歩留まりを実現するために、エッチングプロセスを厳密に制御します。
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