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반도체
Advanced Energy는 반도체 제조를 위한 플라즈마 전력 공급, 온도 측정, 온도 제어 및 웨이퍼 제어 기술 분야에서 시장을 선도하고 있으며, 여기에는 중요한 에칭, 증착, 챔버 청소, 검사, 주입 및 어닐링이 있습니다. 당사는 전략적 파트너십, 지속적인 혁신, 신속한 설계를 통해 고객의 특정 공정 요구 사항에 맞는 솔루션을 제공합니다.
반도체 애플리케이션
증착
AE는 플라즈마 전력 공급, 온도 측정, 온도 제어 및 웨이퍼 제어 솔루션을 포함하여 반도체 증착을 위한 포괄적인 포트폴리오를 제공합니다.
식각
Advanced Energy의 고정밀 플라즈마 전력 공급 시스템은 높은 재연성과 수율을 위해 식각 애플리케이션을 정밀하게 제어합니다.
전자빔 검사
Advanced Energy는 전자빔 검사 시스템에 안정적이고 신뢰할 수 있는 전력을 공급합니다. 이 정밀한 제어를 통해 매우 정확한 결함 식별이 가능하여 메모리 및 논리 디바이스가 엄격한 사양을 충족하도록 보장합니다.
임플란트
AE 전력 제품은 이온 에너지를 정밀하게 제어할 수 있도록 효율성과 전력 밀도를 최적화하는 데 중점을 두고 설계되었습니다.
RF 발생기 교정
RF 발생기의 현장 교정을 위해 Advanced Energy 전력계를 활용하면 반도체 처리 장비의 정확성과 신뢰성이 유지됩니다.
스트립
플라즈마 에칭에서 정밀한 전력 제어는 웨이퍼 표면을 완벽하게 박리하여 잠재적인 결함이 없도록 하는 데 매우 중요합니다.
