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홈 제품 플라즈마 전원 제품 전력 공급 시스템

Power Delivery System

현장에서 입증된 Advanced Energy의 Precision Power™ 솔루션은 광범위한 플라즈마 전원 애플리케이션에서 동급 최고의 제어 및 안정성을 제공합니다. 당사의 포괄적인 전력 공급 기술은 40년 이상 공정 혁신을 실현해 왔으며 파트너와 함께 계속해서 한계를 뛰어넘고 있습니다.

Power Delivery System

eVoS ME Bias Solution

  • Customized ion energy distribution maximizes concentration to process-optimal levels.
  • Independently regulated voltage and current output enhances control of bias conditions.
  • Proprietary control system enables direct manipulation of wafer bias characteristics.
  • Fast, digitized metrology provides real-time output monitoring and control.

RF Delivery System eVerest™ and NavX™

  • ±10% frequency range
  • PowerInsight by Advanced Energy IoT platform
  • Multi-level pulse tuning
  • Frequency tuning

주요 제품

추천

eVerest RF Generator

Angstrom Era Precision Power

데이터 시트

기술 문서

제목 유형
eVerest and NavX RF Delivery System (5 MB) 브로셔
eVerest Brochure (12 MB) 브로셔
eVoS™ 非対称バイアス波形ジェネレータ (18 MB) 브로셔
eVoS™ Family Brochure (18 MB) 브로셔
NavX Matching Network Brochure (18 MB) 브로셔
PowerInsight by Advanced Energy (6 MB) 브로셔
eVoS ME Data Sheet (233 KB) 데이터 시트
eVoS™ Datasheet (3 MB) 데이터 시트
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) 백서

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