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홈 제품 플라즈마 전원 제품 전력 공급 시스템

Power Delivery System

현장에서 입증된 Advanced Energy의 Precision Power™ 솔루션은 광범위한 플라즈마 전원 애플리케이션에서 동급 최고의 제어 및 안정성을 제공합니다. 당사의 포괄적인 전력 공급 기술은 40년 이상 공정 혁신을 실현해 왔으며 파트너와 함께 계속해서 한계를 뛰어넘고 있습니다.

Power Delivery System

eVoS ME Bias Solution

  • Customized ion energy distribution maximizes concentration to process-optimal levels.
  • Independently regulated voltage and current output enhances control of bias conditions.
  • Proprietary control system enables direct manipulation of wafer bias characteristics.
  • Fast, digitized metrology provides real-time output monitoring and control.

RF Delivery System eVerest™ and NavX™

  • ±10% frequency range
  • PowerInsight by Advanced Energy IoT platform
  • Multi-level pulse tuning
  • Frequency tuning

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Angstrom Era Precision Power

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