홈 제품 플라즈마 전원 제품 원격 플라즈마 소스

Remote Plasma Source

Advanced Energy의 원격 플라즈마 소스의 높은 기능성과 탁월한 신뢰성으로 제조 및 어베이트먼트(abatement) 공정을 강화하세요. 맞춤화된 화학 물질을 제공하고 작동 범위를 넓히며 공정 속도를 높일 수 있습니다. 간소화된 설계로 제공되는 당사의 정교한 옵션을 통해 더 높은 수준의 효율성과 생산성을 달성할 수 있습니다.

Remote Plasma Source

MAXstream Remote Plasma Source

Multiple models: MAXstream 300 for low flow applications and MAXstream 1200 for higher flow applications
Highly reliable RPS maximizes tool uptime

Rapid Ox Remote Plasma Source

Quartz liner makes it ideal for photoresist ashing or carbon chamber clean processes
Variable frequency matching provides a range of plasma impedance operation, controlled by varying gas chemistry, pressure, and power set point
Improved thermal management helps ensure long chamber lifetime

Xstream Remote Plasma Source

Highly reliable RPS maximizes tool uptime
Effective reactive species transportation to process chamber for improved performance
Transformer coupled plasma (TCP) source with integrated Active Match Network (AMN)

주요 제품

MAXstream Remote Plasma Source

Reliable Performance for Chamber Clean Applications

데이터 시트

기술 문서

제목	유형
采用主动匹配网络的XSTREAM远程等离子体源 (1 MB)	브로셔
RAPID OX (812 KB)	브로셔
MAXStream 1200 Datasheet (382 KB)	데이터 시트
MAXstream 300 Data Sheet (228 KB)	데이터 시트
Rapid OX RPS Data Sheet (402 KB)	데이터 시트
Xstream RPS Data Sheet (891 KB)	데이터 시트
3 Tips for Sourcing Chamber Cleaning RPS Systems (4 MB)	인포그래픽
Advanced Ignition RPS (938 KB)	백서
RPS Chamber Anodization (499 KB)	백서
RPS Chamber Cleaning System Impact on Cost of Ownership (856 KB)	백서

관련 애플리케이션

모든 애플리케이션 살펴보기

24시간 (24/5) 고객 지원

전문 엔지니어의 기술지원을 받아보세요.

저희는 고객에게 우수한 고객 서비스와 기술 지원을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 실시간 채팅 및 전화 지원을 통해 언제든지 자격을 갖춘 엔지니어에게 도움을 요청할 수 있습니다.

지금 지원 받기

Remote Plasma Source

Remote Plasma Source

MAXstream Remote Plasma Source

Rapid Ox Remote Plasma Source

Xstream Remote Plasma Source

주요 제품

MAXstream Remote Plasma Source

기술 문서

관련 애플리케이션

반도체

Solar Photovoltaics

Flat Panel Display

24시간 (24/5) 고객 지원

전문 엔지니어의 기술지원을 받아보세요.