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RF Plasma Generator

다양한 마운트 및 크기부터 전체 디지털 제어 및 동적 플라즈마 응답까지, 당사의 RF 제너레이터는 공정 혁신을 촉진합니다. 다양한 모델 중에서 선택하고 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 구성 및 제어를 위한 고유한 기능에 액세스하세요.

RF Plasma Generator

eVerest® RF Generator

  • Full RF delivery system, multiple options for matching solutions, and intelligent synchronization
  • Speed and control within programmable multi-level pulse profiles
  • High-speed RF output response and pulse-state rise/fall times

Paramount Plus RF Generator

  • Precise RF and pulse control
  • Fast response to plasma changes
  • Built-in diagnostic tools

Paramount RF Generator

  • Full digital control
  • High power output
  • Enables high plasma density and ion energy

Apex RF Generator

  • High power density
  • Compact installation
  • High-speed arc management

주요 제품

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Angstrom Era Precision Power

데이터 시트

주요 리소스

eVerest Brochure

eVerest’s configurable multi-level pulsing enables instantaneous or user-defined transition timing. Download eVerest brochure for details on benefits, features, specifications and more.

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Forward and Reflected Power: What Does It Mean?

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Three Key Cabling Decisions to Optimize RF System Performance

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기술 문서

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