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RF Plasma Generator

다양한 마운트 및 크기부터 전체 디지털 제어 및 동적 플라즈마 응답까지, 당사의 RF 제너레이터는 공정 혁신을 촉진합니다. 다양한 모델 중에서 선택하고 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 구성 및 제어를 위한 고유한 기능에 액세스하세요.

RF Plasma Generator

eVerest RF Generator

  • Full RF delivery system, multiple options for matching solutions, and intelligent synchronization
  • Speed and control within programmable multi-level pulse profiles
  • High-speed RF output response and pulse-state rise/fall times

Paramount Plus RF Generator

  • Precise RF and pulse control
  • Fast response to plasma changes
  • Built-in diagnostic tools

Paramount RF Generator

  • Full digital control
  • High power output
  • Enables high plasma density and ion energy

Apex RF Generator

  • High power density
  • Compact installation
  • High-speed arc management

주요 제품

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주요 리소스

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Forward and Reflected Power: What Does It Mean?

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Three Key Cabling Decisions to Optimize RF System Performance

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기술 문서

제목 유형
Apex and Paramount RF Generator Comparison (357 KB) 애플리케이션 노트
Paramount Implanter Tools (324 KB) 애플리케이션 노트
Precise Power Control in 3D Device Architectures (647 KB) 애플리케이션 노트
eVerest and NavX RF Delivery System (5 MB) 브로셔
eVerest Brochure (12 MB) 브로셔
eVerest™ RF電力供給システム (18 MB) 브로셔
PowerInsight by Advanced Energy (6 MB) 브로셔
RF Calibration Solutions (530 KB) 브로셔
Apex RF Data Sheet (504 KB) 데이터 시트
Navigator II Digital Matching Networks Brochure (10 MB) 데이터 시트
Paramount Plus Data Sheet (5 MB) 데이터 시트
Paramount Series Data Sheet (4 MB) 데이터 시트
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) 백서

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