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半导体
在包括临界蚀刻、沉积、腔室清洗、检测、注入和退火在内的半导体制造领域，Advanced Energy 的等离子功率传输、温度测量、温度控制和晶圆控制技术均处于市场领先地位。我们通过战略合作、持续创新和快速设计，为您的特定工艺要求提供解决方案。
半导体应用
沉积
AE 为半导体沉积提供全面的产品组合，包括等离子电源输送、温度测量、温度控制和晶圆控制解决方案。
蚀刻
Advanced Energy 的高精度等离子体功率传输系统可对蚀刻应用进行精确控制，从而实现高重复性和高产量。
电子束检测
Advanced Energy 为电子束检测系统提供稳定可靠的电源。这种严格的控制实现了高精度的缺陷识别，确保存储器和逻辑器件符合严格的规格要求。
注入
AE 功率产品的设计专注于优化效率和功率密度，以确保离子能量的精确控制。
射频发生器校准
利用 Advanced Energy 功率计对射频发生器进行现场校准，可保持半导体加工设备的精确度和可靠性。
剥离
在等离子蚀刻过程中，精确控制功率对于确保完美剥离晶圆表面、杜绝任何潜在缺陷至关重要。
