射频发生器校准

与大多数设备一样，射频发生器也需要进行校准，才能保持精确度，使精确度符合通用路径（可追溯性），并确保设备定期正常运行。Advanced Energy 提供射频功率计，用于对该工具所在现场的发生器进行精确校准。我们的 5500 系列射频功率计内置显示屏，可在半导体行业常用的几个频率点进行校准，从而最大限度地减少所需传感器和设备的数量。