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功率输出系统

Advanced Energy 经过现场验证的 Precision Power™ 解决方案可在各种等离子电源应用中提供同类产品最佳的控制和稳定性。我们全面的功率输出技术 40 多年来不断引领工艺创新，并将与我们的合作伙伴一起继续推动技术向前发展。

功率输出系统

eVoS ME Bias Solution

  • Customized ion energy distribution maximizes concentration to process-optimal levels.
  • Independently regulated voltage and current output enhances control of bias conditions.
  • Proprietary control system enables direct manipulation of wafer bias characteristics.
  • Fast, digitized metrology provides real-time output monitoring and control.

RF Delivery System eVerest™ and NavX™

  • ±10% frequency range
  • PowerInsight by Advanced Energy IoT platform
  • Multi-level pulse tuning
  • Frequency tuning

特色产品

特色

eVerest RF Generator

Angstrom Era Precision Power

数据表

技术文档

标题 类型
eVerest and NavX RF Delivery System (5 MB) 手册
eVerest Brochure (12 MB) 手册
eVoS™ 非対称バイアス波形ジェネレータ (18 MB) 手册
eVoS™ Family Brochure (18 MB) 手册
NavX Matching Network Brochure (18 MB) 手册
PowerInsight by Advanced Energy (6 MB) 手册
eVoS ME Data Sheet (233 KB) 数据表
eVoS™ Datasheet (3 MB) 数据表
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) 白皮书

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