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射频等离子体发生器

从各种安装方式和尺寸到全数字控制和动态等离子响应，我们的射频发生器是工艺创新的源动力。您可以从多种型号中灵活选择，并使用独特的配置和控制功能来满足特定的应用要求。

射频等离子体发生器

eVerest® RF Generator

Full RF delivery system, multiple options for matching solutions, and intelligent synchronization
Speed and control within programmable multi-level pulse profiles
High-speed RF output response and pulse-state rise/fall times

Paramount Plus RF Generator

Precise RF and pulse control
Fast response to plasma changes
Built-in diagnostic tools

Paramount RF Generator

Full digital control
High power output
Enables high plasma density and ion energy

Apex RF Generator

High power density
Compact installation
High-speed arc management

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特色

eVerest® RF Generator

Angstrom Era Precision Power

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Introducing the eVerest RF Generator and eVoS ME Bias Solution

7月 12, 2023

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Paramount Plus RF Generator

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Apex RF Generator

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eVerest Brochure

Forward and Reflected Power: What Does It Mean?

Three Key Cabling Decisions to Optimize RF System Performance

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半导体

沉积

蚀刻

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