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射频等离子体发生器

从各种安装方式和尺寸到全数字控制和动态等离子响应，我们的射频发生器是工艺创新的源动力。您可以从多种型号中灵活选择，并使用独特的配置和控制功能来满足特定的应用要求。

射频等离子体发生器

eVerest RF Generator

  • Full RF delivery system, multiple options for matching solutions, and intelligent synchronization
  • Speed and control within programmable multi-level pulse profiles
  • High-speed RF output response and pulse-state rise/fall times

Paramount Plus RF Generator

  • Precise RF and pulse control
  • Fast response to plasma changes
  • Built-in diagnostic tools

Paramount RF Generator

  • Full digital control
  • High power output
  • Enables high plasma density and ion energy

Apex RF Generator

  • High power density
  • Compact installation
  • High-speed arc management

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eVerest RF Generator

Angstrom Era Precision Power

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eVerest Brochure

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Forward and Reflected Power: What Does It Mean?

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Three Key Cabling Decisions to Optimize RF System Performance

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技术文档

标题 类型
Apex and Paramount RF Generator Comparison (357 KB) 应用说明
Paramount Implanter Tools (324 KB) 应用说明
Precise Power Control in 3D Device Architectures (647 KB) 应用说明
eVerest and NavX RF Delivery System (5 MB) 手册
eVerest Brochure (12 MB) 手册
eVerest™ RF電力供給システム (18 MB) 手册
PowerInsight by Advanced Energy (6 MB) 手册
RF Calibration Solutions (530 KB) 手册
Apex RF Data Sheet (504 KB) 数据表
Navigator II Digital Matching Networks Brochure (10 MB) 数据表
Paramount Plus Data Sheet (5 MB) 数据表
Paramount Series Data Sheet (4 MB) 数据表
Forward and Reflected Power: What Does It Mean? (576 KB) 白皮书

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