成膜

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AEのプラズマパワーデリバリー、温度測定、温度制御、ウェハ制御ソリューションの正確な性能と高度な制御は、再現性と歩留まりの向上に役立ちます。当社は、RF、DCおよびパルスDCパワーデリバリーシステムを幅広く取り揃えており、特定のプロセス要件に対応する様々なマッチーを提供しています。

プロセス制御強化のための包括的なソリューションポートフォリオ

アドバンスドエナジーのRFプラズパワーデリバリーおよび高速マッチング技術は、要求の厳しいPECVDおよびPEALD成膜法用にカスタマイズされ最適化された性能を可能にします。当社のDC技術は、PVD（スパッタリング）およびECD成膜法に、設定可能なアーク放電反応、出力精度およびプロセスの再現性を提供します。また、製造工程の様々な側面で精度を高めるために、温度モニタリング、温度制御およびウェハ管理技術も提供しています。

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